김성근 정두석 권범진 편정준 강종윤 최지원 김진상 백승협 2024-01-12T17:03:11Z 2024-01-12T17:03:11Z 2016-08-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92092 백금족 박막의 원자층 증착 방법 Patent 2016-08-22 2015-06-01 10-1651512 2015-0077138 KO 특허 한국과학기술연구원