김상현 최원준 박민수 금대명 2024-01-12T17:03:21Z 2024-01-12T17:03:21Z 2018-07-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92106 고속 에피택셜 리프트오프를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자 Patent 2018-07-03 2015-09-15 10014216 14/854221 US 특허 한국과학기술연구원