김주선 권은석 유영창 최선희 2024-01-12T17:32:18Z 2024-01-12T17:32:18Z 2014-09-26 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92590 반응성 스퍼터링법으로 제조한 다공성 산화물 복합체 박막 전극 Patent 2014-09-26 2012-11-02 1447023 2012-0123796 KO 특허 한국과학기술연구원