김영환 김춘근 김성일 김용태 2024-01-12T17:32:34Z 2024-01-12T17:32:34Z 2013-09-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92615 반도체 소자의 금속배선 및 그 제조방법 Patent 2013-09-06 2012-02-16 1307780 2012-0015689 KO 특허 한국과학기술연구원