김영환 김상헌 김용태 김춘근 김성일 2024-01-12T18:00:32Z 2024-01-12T18:00:32Z 2012-08-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92997 실리콘 나노선 제조 방법 Patent 2012-08-02 2010-03-05 1172358 2010-0020115 KO 특허 한국과학기술연구원