이중기 조병원 박지훈 우주만 장원영 2024-01-12T18:01:30Z 2024-01-12T18:01:30Z 2012-05-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93080 전자싸이크로트론 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 산화아연주석복합계 투명도전 복합막의 제조방법 Patent 2012-05-29 2009-07-08 10-1152621 2009-0062238 KO 특허 한국과학기술연구원