변영태 송종한 박민철 전영민 2024-01-12T18:02:12Z 2024-01-12T18:02:12Z 2008-09-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93140 다중 양자우물 구조의 집적광소자용 에피박막의 제조방법 Patent 2008-09-22 2007-01-23 0860603 2007-0006794 KO 특허 한국과학기술연구원