강종윤 김현재 김달영 윤석진 2024-01-12T18:02:56Z 2024-01-12T18:02:56Z 2006-08-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93204 전자빔으로 조절된 분역의 분극방향에 따른 식각속도 차이를 이용한 강유전체 나노점의 제작 방법 Patent 2006-08-08 2005-04-04 0612915 2005-0028226 KO 특허 한국과학기술연구원