김병규 강현재 남궁영우 2024-01-12T18:30:23Z 2024-01-12T18:30:23Z 2006-01-18 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93549 하이브리드　타입　미세조작방법　및 그　시스템 Patent 2006-01-18 2003-11-24 0545962 2003-0083705 KO 특허 한국과학기술연구원