변영태 이석 박화선 우덕하 이종창 2024-01-12T18:30:26Z 2024-01-12T18:30:26Z 2005-06-21 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93553 높은 위상변조 효율을 갖는 ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰｒｉｄｇｅ 도파로 위상 변조기의 에피박막층 제조방법 Patent 2005-06-21 2003-04-14 0498259 2003-0023458 KO 특허 한국과학기술연구원