최원국 정형진 송종한 2024-01-12T18:32:01Z 2024-01-12T18:32:01Z 2003-10-14 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93683 산화아연　산화물　반도체　박막　제조방법 Patent 2003-10-14 2000-05-08 403191 00-24465 KO 특허 한국과학기술연구원