이준근 박성훈 최헌진 김창삼 2024-01-12T18:32:22Z 2024-01-12T18:32:22Z 1991-04-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93714 SiO발생속도　조절에　의한　탄화규소 피복흑연의　제조방법 Patent 1991-04-11 1988-07-20 0041122 1988-0009033 KO 특허 한국과학기술연구원