민석기 박승철 심광보 박용주 한철원 2024-01-12T18:32:54Z 2024-01-12T18:32:54Z 1993-09-09 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/93755 디렉트　모니터링　전기로를　이용한　수직온도　구배　냉각　화합물　반도체 단결정　성장장치 Patent 1993-09-09 1990-04-04 65323 90-4653 KO 특허 한국과학기술연구원