Cho Jung-gyn Kim Ki Hyuk 이동수 Park, Min-Chul Jhon, Young Min Kim, Yong Tae 2024-01-12T18:37:05Z 2024-01-12T18:37:05Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/94066 English Algorithm for EUV Mask Actinic CD Measurement using Scattered Light 산란광을 이용한 EUV 마스크 Actinic CD 측정 알고리즘 Conference 2 차세대 리소그래피 학술대회 차세대 리소그래피 학술대회 KO