고석근 조정 최원국 정형진 2024-01-12T19:00:47Z 2024-01-12T19:00:47Z 2001-11-20 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/94145 이온빔을　이용한　재료의　표면　처리 장치 Patent 2001-11-20 2000-08-07 6,319,326 09/555,832 US 특허 한국과학기술연구원