민석기 곽성관 김영석 김은규 2024-01-12T19:01:11Z 2024-01-12T19:01:11Z 2001-01-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/94174 질소플라즈마를　이용한　선택적　금속 박막　증착방법　및　그를　이용한　다층금속　연결배선　방법 Patent 2001-01-11 1998-03-12 286253 98-8282 KO 특허 한국과학기술연구원