주병권 오명환 최우범 2024-01-12T19:01:15Z 2024-01-12T19:01:15Z 2001-03-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/94179 실리콘　박막을　이용한　유리　기판쌍의정전　열접합　방법 Patent 2001-03-06 1999-01-08 6,197,139 09/226,949 US 특허 한국과학기술연구원