Kim Yong Soo Sung Hamin Kim Young Jin Cho, Woon Jo 이주한 Kim, Yong Tae Jhon, Young Min 2024-01-12T19:04:12Z 2024-01-12T19:04:12Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/94396 English ZrN/Si Thin Films null EUV Mirror null Mo/Si Thin Films null Interdiffusion Layers Design of EUV Mirror Using ZrN/Si Thin Films ZrN/Si 박막을 이용한 EUV용 반사경의 설계 Conference 2 차세대 리소그래피 학술대회, v.2, pp.51 - 52 차세대 리소그래피 학술대회 2 51 52 KO