최원준 이혜진 백정민 백승협 2024-01-12T19:30:50Z 2024-01-12T19:30:50Z 2021-07-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/94718 복층 구조의 적외선 흡수체를 포함하는 마이크로-볼로미터 및 이의 제조방법 Patent 2021-07-05 2019-08-23 10-2275391 10-2019-0103712 KO 특허 한국과학기술연구원