서민아 이동규 손주혁 2024-01-12T20:00:08Z 2024-01-12T20:00:08Z 2017-03-27 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/95231 냉각형 고감도 나노구조체 테라헤르츠 센서 Patent 2017-03-27 2015-10-15 10-1721976 2015-0143882 KO 특허 한국과학기술연구원