백영준 정증현 이택성 김원목 이경석 박종극 2024-01-12T20:30:25Z 2024-01-12T20:30:25Z 2011-09-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/95818 ZnO 박막 성장방법 그리고 이를 이용한 박막태양전지 Patent 2011-09-06 2010-11-22 10-1064517 2010-0115988 KO 특허 한국과학기술연구원