한승희 변지영 석현광 신상범 김유찬 이성배 최진영 한준현 2024-01-12T20:31:59Z 2024-01-12T20:31:59Z 2015-09-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/95935 고체 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치 Patent 2015-09-22 2011-03-10 9,139,902 13/044,621 US 특허 한국과학기술연구원