김태하 전명석 2024-01-12T20:32:48Z 2024-01-12T20:32:48Z 2011-09-27 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/95995 다결정 실리콘 층에 의해 광 차단판이 형성된 유리 재질 마이크로 칩의 MEMS 가공 제작 Patent 2011-09-27 2007-10-29 8025776 11/926509 US 특허 한국과학기술연구원