강종윤 윤석진 김홍희 소형종 이경우 2024-01-12T20:33:36Z 2024-01-12T20:33:36Z 2008-07-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96052 압전 액츄에이터를 이용한 유체 제어 밸브 Patent 2008-07-01 2006-07-05 10-0844432 2006-0062970 KO 특허 한국과학기술연구원