Jihye Jang Kim jin sik DongHoon Kang Lee Sang Youp 박정호 Shin, Hyun Joon 2024-01-12T20:35:07Z 2024-01-12T20:35:07Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96149 English nanofabrication nanowire device insulator film SiO2-Si3N4-SiO2 layers PECVD Design of nano-device using hi ghly stable insulator film 높은 안정성의 절연막을 이용한 nano-device 설계 Conference 2 제14회 한국 MEMS 학술대회, pp.249 - 250 제14회 한국 MEMS 학술대회 249 250 KO