주오심 록핸드씨.디. 민선기 정광덕 2024-01-12T21:00:37Z 2024-01-12T21:00:37Z 2006-07-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96389 전착법을 이용한 무정질 티타늄 산화물 막의 제조방법 Patent 2006-07-05 2004-05-28 599879 2004-0038101 KO 특허 한국과학기술연구원