김광호 전재학 송귀은 이윤표 2024-01-12T21:00:46Z 2024-01-12T21:00:46Z 2007-05-18 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96401 이중 박막을 갖는 마이크로 시스템용 발전기 Patent 2007-05-18 2004-03-23 3957697 2004-084252 JA 특허 한국과학기술연구원