이광렬 이철승 윤기현 2024-01-12T21:01:53Z 2024-01-12T21:01:53Z 2004-06-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96473 실리콘을 함유한 초경질 다이아몬드상 탄소박막 및 그 제조방법 Patent 2004-06-08 2001-10-31 0436565 2001-0067540 KO 특허 한국과학기술연구원