우경자 2024-01-12T21:02:04Z 2024-01-12T21:02:04Z 2007-01-12 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96489 화학증착용 유기티탄 전구체 및 그의 제조 방법 Patent 2007-01-12 2002-01-21 3902957 2002-12110 JA 특허 한국과학기술연구원