민석기 김성일 김무성 2024-01-12T21:30:41Z 2024-01-12T21:30:41Z 1999-02-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/96971 CBr4개스를　이용한　반도체　패턴　측면의　에피성장율　조절방법 Patent 1999-02-02 1996-07-22 5,865,888 08/684,721 US 특허 한국과학기술연구원