이헌수 김재우 정용채 김윤상 유재상 정운석 최용석 2024-01-12T21:33:10Z 2024-01-12T21:33:10Z 2022-09-14 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/97151 분기형 국부 플라즈마 방전 장치 Patent 2022-09-14 2021-01-29 10-2444846 10-2021-0012883 KO 특허 한국과학기술연구원