이도권 김진환 강상웅 김인호 장윤희 2024-01-12T21:33:24Z 2024-01-12T21:33:24Z 2023-07-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/97168 물리적 기상증착 장치용 기판 홀더 Patent 2023-07-10 2020-11-26 10-2555324 10-2020-0161032 KO 특허 한국과학기술연구원