한재훈 송진동 김상현 2024-01-12T22:00:14Z 2024-01-12T22:00:14Z 2022-08-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/97505 플래시 메모리 구조를 이용한 반도체-절연막-반도체 구조를 가지는 광 위상 변조기 Patent 2022-08-10 2020-01-22 10-2432471-0000 10-2020-0008429 KO 특허 한국과학기술연구원