박재현 김재경 심유민 2024-01-12T22:01:30Z 2024-01-12T22:01:30Z 2020-04-21 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/97600 헥사고날 보론 니트라이드 박막의 제조 방법 및 이를 이용한 다층 구조의 제조 방법 및 스위칭 소자의 제조 방법 Patent 2020-04-21 2018-11-27 10629696 16/201293 US 특허 한국과학기술연구원