이욱성 이학주 정두석 이택성 김인호 이경석 2024-01-12T22:34:01Z 2024-01-12T22:34:01Z 2014-04-25 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/98336 나노 결정질 다이아몬드를 이용한 감쇠전반사형 도파로 모드 공진 센서 및 나노 결정질 다이아몬드로 이루어진 도파로의 제조 방법 Patent 2014-04-25 2012-10-05 1391179 2012-0110684 KO 특허 한국과학기술연구원