반도체생산 공정에서 배출되는 함불소가스를 효과적으로 분해하기 위한 흡착농축시스템과 결합된 열분해복합공정 기술 - 이중기; 조병원; 이화영; 김형석; 우주만; 장원영; 유경선; 이상득 (2011)