양광주가 존재하지 않는 직류 전원 플라스마 증착 장치와 양광주를 배제한 상태에서의 물질 증착 방법 및 이에 의해 제조된 다이아몬드 박막 - 이욱성; 채기웅; 정증현; 백영준 (2012)