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금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화

Authors

김영석; 장삼석; 이승무; Ji Hun Park; 변동진

Issue Date

2009-05

Citation

한국재료학회

Keywords

ZnO; Reactive Sputtering; metal Zn

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/101438

Appears in Collections:

KIST Conference Paper > Others

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