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수직형 MEMS 프로브 팁의 신뢰성 설계 및 전기적 특성평가

Authors

SeungHun LEE; Chu sung il; Kim, Jin Hyeck; Dong-Chul HAN; Moon, Sung Wook

Issue Date

2007-03

Citation

2007년도 한국신뢰성학회 및 대한기계학회 신뢰성부문 공동학술대회

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/103588

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