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스퍼터링 증착조건이 HgCdTe 표면 보호막으로 사용된 Silicon Nitride 박막의 전기적 특성에 미치는 영향

Authors

정용철; AN SE YOUNG; Lee Hak Joon; 최덕균; KIM, JIN SANG

Issue Date

2004-02

Citation

제11회 한국반도체 학술대회 논문집, no.2, pp.523 - 524

Keywords

스퍼터링; 표면보호막; SiN

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/105859

Appears in Collections:

KIST Conference Paper > Others

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