스퍼터링 증착조건이 HgCdTe 표면 보호막으로 사용된 Silicon Nitride 박막의 전기적 특성에 미치는 영향

Authors
정용철AN SE YOUNGLee Hak Joon최덕균KIM, JIN SANG
Issue Date
2004-02
Citation
제11회 한국반도체 학술대회 논문집, no.2, pp.523 - 524
Keywords
스퍼터링; 표면보호막; SiN
URI
https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/105859
Appears in Collections:
KIST Conference Paper > Others
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