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PZT 박막의 특성 및 MEMS 디바이스에의 응용 : 초전센서 어레이 형성을 위한 다이아프램 제조

Authors

Kim Tae Song

Issue Date

1999-02

Citation

1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움논문집, v.1, no.1, pp.9 - 14

Keywords

PZT; pyroelectric; sensor

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109416

Appears in Collections:

KIST Conference Paper > Others

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