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SiNx 덮개층의 성장조건이 InGaAs/InGaAsP 양자우물 무질서화에 미치는 영향

Authors

Choi Won Jun; 이희택; Woo Deok Ha; Kim Sun Ho; KANG KWANG NHAM; 조재원

Issue Date

1999-01

Citation

한국진공학회 제17회 학술대회 논문개요집, pp.92

Keywords

양자우물무질서

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109807

Appears in Collections:

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