DSpace at KIST: Item 201004/109871

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Yoon Young Soo	-
dc.date.accessioned	2024-01-13T18:04:03Z	-
dc.date.available	2024-01-13T18:04:03Z	-
dc.date.created	2021-09-29	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109871	-
dc.subject	MEMS	-
dc.subject	cantilever beam	-
dc.subject	piezoelectricity	-
dc.subject	surface micromachining	-
dc.title.alternative	압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점	-
dc.type	Conference	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집, v.1, no.1, pp.25 - 33	-
dc.citation.title	1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집	-
dc.citation.volume	1	-
dc.citation.number	1	-
dc.citation.startPage	25	-
dc.citation.endPage	33	-
dc.citation.conferencePlace	KO	-

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