고출력 광섬유 레이저의 펌프 LD 보호기용 필터 설계 및 제작 특성

Abstract

고출력 광섬유 레이저에서 역입사되는 레이저 광으로부터 펌프 LD를 보호하기 위한 2색 필터를 설계하고 제작한 후, 그 특성을 측정하였다. 펌프 LD 발진 파장인 905 nm ~ 925 nm 대역에서 투과율은 99.9% 이상, 광섬유 레이저 출력 반사광이나 브릴루앙 산란광 파장대역인 1020 nm ~ 1100 nm 대역에서의 투과율은 0.1% 이하가 되도록 필터를 설계하였다. Substrate를 SiO2로 했을 경우, 박막의 접착력이 좋은 Oxide 계열 물질을 사용하는 것이 유리하여 SiO2를 공통으로 Ta2O5와 ZrO2를 사용하였다. Ta2O5와 ZrO2를 이용하여 설계를 하여 필터를 제작한 후 그 특성을 비교하였다. 측정 결과 Ta2O5와 ZrO2를 사용하여 제작한 두 필터 모두 투과율이 905 nm ~ 925 nm 대역에선 99.5% ~ 99.9%로, 1020 nm ~ 1100 nm 대역에선 0.01% ~ 0.09%로 측정되어 목표 기준치에 적합함을 확인하였다.