전기도금법으로 제조한 Ni 박막과 Ni-Al2O3 복합박막의 기계적 성질

Other Titles
Mechanical Properties of Ni Films and Ni-Al2O3 Composite Films Fabricated by Electroplating
Authors
전성우원혜진이광용이재호변지영오태성
Issue Date
2005-09
Publisher
한국마이크로전자및패키징학회
Citation
마이크로전자 및 패키징학회지, v.12, no.3, pp.259 - 266
Abstract
도금전류밀도에 따른 Ni 박막과 Ni-Al2O3 복합박막의 항복강도, 파괴 연신율 및 Ni-Al2O3 복합박막내 Al2O3 함유량을 분석하였다. 5∼20 mA/cm2로 형성한 Ni-Al2O3 내 Al2O3 함유량은 11.48∼11.64 vol%로 거의 일정하였으나, 도금전류밀도가 30 mA/cm2로 증가함에 따라 Al2O3 함유량이 8.41 vol%로 감소하였다. Ni-Al2O3 복합박막은 모두 Ni 박막보다 높은 항복강도를 나타내었으며, 특히 5 mA/cm2로 도금한 Ni-Al2O3의 항복강도는 Ni에 비해 50% 증가하였다. 도금전류밀도가 증가함에 따라 Ni 박막과 Ni-Al2O3 복합박막의 파괴 연신율이 감소하였다. 5 mA/cm2에서 도금한 Ni-Al2O3 복합박막이 다른 전류밀도에서 형성한 복합박막에 비해 Al2O3가 균일하게 분산되어 있으며 가장 높은 항복강도와 파괴 연신율을 나타내었다.
Keywords
Electroplaing; Ni film; Ni-AlO film; Composite coating; Mechanical properties; Electroplaing; Ni film; Ni-AlO film; Composite coating; Mechanical properties
ISSN
1226-9360
URI
https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/136155
Appears in Collections:
KIST Article > 2005
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