열분해법으로 형성된 산화크롬 박막의 자기적 특성
- Other Titles
- Magnetic Properties of CrO2 Thin Films Deposited by Thermal Deposition
- Issue Date
- 2004-09
- Publisher
- 한국세라믹학회
- Citation
- 한국세라믹학회지, v.41, no.9, pp.4 - 4
- Abstract
- (110) 배향 TiO2 단결정 위에 성장시킨 CrO2(110) 박막의 결정 구조, 미세구조와 자기적 특성의 상관 관계에 대해 연구하였다. 소스 물질로는 CrO3 분말을 사용하였으며, 열분해 화학증착법으로 CrO2 박막을 형성하였다. (110) 배향된 TiO2 루타일 단결정 위에 형성된 CrO2 박막은 (110) 방향으로 우선 배향되었고, 미세구조적으로 평활한 박막을 형성하였다. 흘려주는 산소량이 많을수록 CrO2 박막의 두께가 두꺼워지고 저항치가 낮았으며, 음의 자기저항치의 변화 및 자기 이력 곡선에서 보자력과 잔류 자화 값이 감소하는 경향을 보였다.
- Keywords
- Half-metal; CrO2; Chemical Vapor Deposition; (110) orientation
- ISSN
- 1229-7801
- Appears in Collections:
- KIST Article > 2004
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