중유전율 LTCC 기판용 CaZrO3-CaTiO3계 세라믹스의 저온소결 및 유전특성

Abstract

CaZrO3 세라믹스에 대하여 CaTiO3 세라믹스의 첨가량 변동에 따른 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 또한 중유전율 LTCC 기능성 기판으로 활용하기 위하여 저융점의 유리 프리트를 첨가하여 CaZrO3-CaTiO3 세라믹스의 저온 소결 거동과 마이크로파 유전특성을 평가하였다. 저온 소결 조제로 사용된 저융점의 유리 프리트를 10~20 wt% 범위로 첨가함으로서 CaZrO3-CaTiO3 세라믹스의 소결온도를 1450oC에서 900oC이하로 낮출 수 있었다. 음의 온도계수를 갖는 CaZrO3 및 유리프리트에 대하여 양의 온도계수를 갖는 CaTiO3 세라믹스의 분율을 적정히 제어함으로서 제로의 온도계수를 구현할 수 있었다. CaZrO3-CaTiO3 세라믹스에 저온 소결용 유리 프리트를 15 wt% 첨가하여 875oC에서 소결한 경우, 유전율(k) 23, 품질계수(Qxf) 2500, 공진 주파수 온도계수(？f) -3 ppm/oC의 매우 양호한 마이크로파 유전특성을 나타내었다.