접합유리와 반응된 Fe-Hf-N 박막의 연자기 특성

Abstract

열처리 온도에 따라 접합유리와의 화학적 반응이 Fe-Hf-N/SiO2 및 Fe-Hf-N/Cr/SiO2 박막의 물리적, 자기적 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 접합유리와 반응된 Fe-Hf-N/SiO2 박막의 연자기 특성은 온도가 증가함에 따라 크게 떨어졌으며, 600 oC에서 포화자화값은 1 kG, 보자력이 27 Oe, 10 MHz에서의 유효투자율이 70으로 자기적 특성이 급격히 열화되었다. 이는 접합유리와의 화학적 반응에 의해 Fe-Hf-N 박막이 HfO2, Fe3O4 등으로 산화되기 때문인 것으로 나타났다. Fe-Hf-N/Cr/SiO2 박막의 경우, 600 oC에서 포화자화값 13.5 kG, 보자력은 4 Oe, 10 MHz에서의 유효 투자율이 700으로 Fe-Hf-N/SiO2 박막보다 연자기 특성 열화가 덜 일어났다. 이는 Fe-Hf-N/Cr/SiO2 박막의 Cr 층이 Fe-Hf-N 박막의 산화를 억제하여, 일부에서만 HfO2 가 생성되고 나머지는 원래의 a-Fe 상을 유지하기 때문인 것으로 나타났다.