DSpace at KIST: 양자우물 무질서 공정을 이용한 양자우물 적외선 검출기의 반응대역 변화

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양자우물 무질서 공정을 이용한 양자우물 적외선 검출기의 반응대역 변화

Other Titles: Change of Spectral Response in a Quantum-well Infrared Photodetector by Using the Quantum-well Intermixing Technique

Authors: 신재철; 최원준; 한일기; 박용주; 김은규; 이정일; 김희재; 최정우; 강광남

Issue Date: 2002-01

Publisher: 한국물리학회

Citation: 새물리, v.44, no.1, pp.55 - 59

Abstract: 반 절연 GaAs 기판위에 양자우물 적외선 검출기용 GaAs/AlGaAs 다중양자우물 구조를 성장하고 SiO$_2$ 유전체 덮개층을 이용한 양자우물 무질서 공정을 통하여 다중양자우물의 밴드갭을 청색이동(Blue shift) 시켰다. 양자우물 무질서 공정을 거친 시료를 이용하여 제작된 양자우물 적외선 검출기는 10 K의 온도에서 적외선 광원에 대한 최대 광 응답 특성이 8 $\mu$m 파장에서 10 $\mu$m 파장으로 적색 이동함을 확인 하였다.

Keywords: Quantum well infrared photodetector; Quanum well intermixing; 양자우물 적외선 검출기; 양자우물 무질서공정

ISSN: 0374-4914

URI: https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139875

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