DSpace at KIST: 이온빔 스퍼터링으로 제작된 다이아몬드성 카본 필름의 전계 방출 특성

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	안상혁	-
dc.contributor.author	이광렬	-
dc.contributor.author	전동렬	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T15:46:26Z	-
dc.date.available	2024-01-21T15:46:26Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1999-02	-
dc.identifier.issn	1225-8822	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142413	-
dc.language	Korean	-
dc.publisher	한국진공학회	-
dc.title	이온빔 스퍼터링으로 제작된 다이아몬드성 카본 필름의 전계 방출 특성	-
dc.title.alternative	Field emission properties of diamond-like carbon films deposited by ion beam sputtering	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	한국진공학회지, v.8, no.1, pp.36 - 42	-
dc.citation.title	한국진공학회지	-
dc.citation.volume	8	-
dc.citation.number	1	-
dc.citation.startPage	36	-
dc.citation.endPage	42	-
dc.description.isOpenAccess	N	-
dc.description.journalRegisteredClass	other	-
dc.subject.keywordAuthor	전계방출특성	-
dc.subject.keywordAuthor	다이아몬드상 카본필름	-
dc.subject.keywordAuthor	스퍼터링	-

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